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做“好用、好修、好造、好看“的四好的清洗設備。
適用于半導體晶圓/液晶/HDD等的微細顆粒的去除，是晶圓片清洗首選頻率。
制作精良
采用日本原裝進口發振器和振動板制作而成。
依據振動板尺寸進行專業設計，外型美觀。
采用優等級316不銹鋼板材制作。
控制精細
采用數字控制實現了穩定的發振。
可以1W為單位進行超聲波輸出功率的調整。
VFD(熒光顯示管)顯示，具有清晰的可視性。
晶圓清洗
1Mhz為晶圓片清洗的首選頻率。
專為6寸和8寸晶圓片清洗定制。
洗精度達到0.2~1μm。
對工件的損傷小。
接口豐富
可根據需要實現與清洗設備的連接和控制。
采用SiC MOS FET實現了發振器小型化和高信賴度
產品規格
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