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做“好用、好修、好造、好看“的四好的清洗設備。
半導晶圓盒專用。
精密清洗
可兼容多種規格晶圓盒清洗。
高潔凈度材料制作保證清洗高潔凈度。
低溫、大風量、高潔凈度風源保證干燥潔凈度。
出口與潔凈房對接保證清洗終端潔凈度。
領先的超聲技術
換能器電聲轉化效率高達 90%以上。
自動追頻精度1Hz，接近國際先進水平。
自帶分頻掃頻功能，頻率可切換。?
支持485通訊和PLC遠端控制（可選）。
先進工藝
多頻率超聲全面覆蓋去除不同微米級顆粒。?
結合涌流清洗，使細微顆粒徹底與工件分離。
夾持式機械手傳動，定位精確，運行穩定高效。
PLC自動控制，自動化程序高。?
批量使用
針對晶圓盒高精密的清洗需求專業設計。
具備非常成熟的工藝設計。
已在多家晶圓盒廠批量使用。
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