機(jī)器人半導(dǎo)體晶圓兆聲波除膠機(jī)
機(jī)器人半導(dǎo)體晶圓兆聲波除膠機(jī)
產(chǎn)品類別:
半導(dǎo)體清洗機(jī)
適用范圍:
  • 用于晶圓、光學(xué)元件及金屬等外表面除膠并高潔凈度的清洗和干燥。

咨詢熱線:
0755-81719998 / 400-9696-128 / 13828889090
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  • 產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品特點(diǎn)
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性能描述
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特點(diǎn)描述


  • 工作原理是利用超聲波特有的空化效應(yīng)并結(jié)合清洗劑的除污作用使工件表面達(dá)到高潔凈要求后,再采用IPA對(duì)工件進(jìn)行有效脫水。

  • 配置不同頻率段的超聲波清洗工位,由低頻轉(zhuǎn)向高頻進(jìn)行步進(jìn)式清洗,可保證工件清洗后的高潔凈度。

  • 可更加靈活的實(shí)現(xiàn)工藝流程的調(diào)整,以滿足不同清洗的需求。

  • 可實(shí)現(xiàn)柔性抓取:在工件尺寸發(fā)生變化的時(shí)候,不用更換卡爪而直接依據(jù)工件的尺寸調(diào)整卡爪的間距來實(shí)現(xiàn)對(duì)不同工件的清洗。

  • 搬移工件的速度更快捷,更穩(wěn)定,更精準(zhǔn)!

  • 機(jī)器人的圓形抓取活動(dòng)范圍,可實(shí)現(xiàn)槽體U型布局,相對(duì)傳統(tǒng)機(jī)械手只能采用直線型布局,占地面積更小

  • 采用了新型布局,使得清洗區(qū)域和功能區(qū)域完全隔離,設(shè)備更安全的同時(shí),更能保證清洗區(qū)域的潔凈度;


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